Mass Flow Controller - MFC

تبخیرکننده مدل DLI یک سیستم با عملکرد مطلوب برای تبخیر مطمئن ، کامل و یکنواخت بسیاری از سیالات گرانبها می باشد؛ با توجه به ویژگیهای منحصربفرد فن آوری مورد استفاده در اتمایزر و مبدل حرارتی دستگاه تبخیرکننده DLI، این دستگاه راه حل مناسبی برای تامین بخار تمیز در هر کاربردی می باشد.

این تبخیرکننده می تواند تا 3 جریان سیال را با یکدیگر مخلوط کند.

ویژگی دیگر این دستگاه کاربرد برای سیالات حساس به گرما می باشد.

همچنین، از این دستگاه برای انتقال بخارهای فشار پایین می توان استفاده نمود.

با توجه به استفاده از کنترل کننده های کریولیسی در این سیستم، مقدار جریان مایع در محدوده 10gr/hr تا 10kgr/hr است.

دستگاه تبخیرکننده BROOKS در کاربردهای CVD، MOCVD، ALD، PACVD و کاربردهای پیشرفته لایه نشانی استفاده شده است.