طیف گسترده انواع کنترل کننده جریان جرمی و فلومترهای جرمی ساخت شرکت BROOKS امکان انتخاب دستگاه مناسب برای کاربرد مورد نظر مشتری را تضمین می کند.
انواع کنترل کننده های شدت جریان جرمی (MFC) ساخت شرکت BROOKS به لحاظ کیفیت و اطمینان در 20 سال گذشته در عرصه بین الملل صنعت و تحقیقات شناخته شده است.
کنترلرهای جریان جرمی نوع حرارتی (Thermal MFC) ساخت شرکت BROOKS از مزایای متعددی مانند زمان پاسخ، دقت، تکرارپذیری و ... برخوردار هستند.
|
GENERAL PURPOSE SERIES |
||||||||
 |
 |
|
||||||
|
9000 Series High Temperature MFC/MFM FS: 3 sccm - 10 SLPM Accuracy: 0.35% FS Max P: 10 bar ; Max T: 150 C |
4800 Series MFC (MFM) FS: 50 sccm - 40 SLPM Accuracy: 1% FS Max P: 10 bar ; Max T: 50 C |
SLA-5800 Series MFC (MFM) FS: 3 sccm - 2500 SLPM Accuracy: 0.2% FS Max P: 300 bar ; Max T: 65 C |
||||||
|
مشخصات |
مشخصات |
مشخصات |
||||||
 |
|
 |
||||||
|
FLOMEGA 5882/92 (Liquid MFC) FS: 200-1000 gr/lit Accuracy: 0.5% FS Max P: 400 bar ; Max T: 65 C |
FLOMEGA 5881/91 (Liquid MFC) FS: 30-100 gr/lit Accuracy: 0.5% FS Max P: 400 bar ; Max T: 65 C |
SLA-5800 Enhanced Series FS: 3 sccm - 2500 SLPM Accuracy: 0.18% FS Max P: 310 bar ; Max T: 65 C |
||||||
|
مشخصات |
مشخصات |
مشخصات |
||||||
|
NEMA 4X / IP65 SERIES |
||||||||
|
 |
|
||||||
|
Mf-S MFC (MFM) FS: 3 sccm - 36000 SLPM Accuracy: 0.2% FS Max P: 100 bar ; Max T: 65 C |
SLA-Mf MFC (MFM) FS: 3 sccm - 2500 SLPM Accuracy: 0.2% FS Max P: 100 bar ; Max T: 65 C |
SLAMf-Enhanced Series MFC FS: 3 sccm - 2500 SLPM Accuracy: 0.18% FS Max P: 310 bar ; Max T: 65 C |
||||||
|
مشخصات |
راهنما |
مشخصات |
راهنما |
مشخصات |
||||
|
ADVANCED DIAGNOSTICS SERIES & MULTIFLO CAPABALE SERIES |
||||||||
|
|
 |
||||||
|
Digital MFC / MFM Model GF 80/81 ::: Metal Seal ::: FS: 3 sccm - 300 SLPM Min Accuracy: 0.35% FS Max P: 10 bar ; Max T: 50 C |
Digital MFC / MFM ; Model: GF 40 ::: Elastomer Seal ::: FS: 3 sccm - 50 SLPM Min Accuracy: 0.35% FS Max P: 10 bar ; Max T: 65 C |
Digital MFC / MFM ; Model: GF135 ::: Advanced Diagnostics & PTI ::: FS: 3 sccm - 5 SLPM Min Accuracy: 0.04% FS Max P: 6 bar ; Max T: 50 C |
||||||
|
مشخصات |
مشخصات |
مشخصات |
||||||
|
|
|
|
||||||
|
Digital MFC / MFM ; Model: GF 120 (SDS)
:::Ultra High Purity & Metal Seal & Safe Delivery:::
FS: 4 sccm - 1 SLPM Min Accuracy: 0.04% FS Max P: 33 bar ; Max T: 50 C |
Digital MFC / MFM ; Model: GF 120 ::: Ultra High Purity & Metal Seal :::
FS: 3 sccm - 55 SLPM Min Accuracy: 0.35% FS Max P: 33 bar ; Max T: 50 C |
Digital MFC / MFM ; Model: GF 100/101 ::: High Purity & Metal Seal ::: FS: 3 sccm - 300 SLPM Max P: 33 bar ; Max T: 50 C |
||||||
|
مشخصات |
مشخصات |
مشخصات |
||||||
|
|
|
|
||||||
|
Digital MFC / MFM ; Model: GF 126 :::Ultra High Purity & Metal Seal &High Accuracy:::
FS: 51 SLPM - 300 SLPM Min Accuracy: 0.35% FS Max P: 10 bar ; Max T: 50 C |
Digital MFC / MFM ; Model: GF 125 (HA) :::Ultra High Purity & Metal Seal &High Accuracy:::
FS: 5 sccm - 10 SLPM Min Accuracy: 0.35% FS Max P: 6 bar ; Max T: 50 C |
Digital MFC / MFM ; Model: GF 125 ::: Ultra High Purity & Metal Seal & PTI :::
FS: 3 sccm - 55 SLPM Min Accuracy: 0.35% FS Max P: 6 bar ; Max T: 50 C |
||||||
|
مشخصات |
مشخصات |
مشخصات |
||||||